Встроенная виброизоляция обеспечивает стабильность атомного разрешения в обычной лабораторной среде.
Сменные сканеры с разными полями X/Y/Z позволяют быстро переключаться между нано‑ и микрорельефом без перестройки прибора.
Нанометрическая повторная установка точки: образец можно вынуть, обработать (напылить, протравить, облучить) и вернуть, просканировав ту же область с точностью до нанометров.