Производство стандартных бинарных фотошаблонов

Изготовление стандартных бинарных фотошаблонов уровня до 180 нм для проведения литографических процессов методами: • Контактной фотолитографии, масштаб изображения 1:1 • Проекционной фотолитографии, масштаб изображения 10:1, 5:1, 4:1 Фотошаблоны изготавливаются на подложках из щелочного стекла или синтетического кварца с хромовым маскирующим покрытием. Типоразмеры изготавливаемых фотошаблонов: • 127x127x2,24 мм (5009) • 152х152х6,35 мм (6025) • 177,4х177,4х3,1 мм (7012)