Структуры Кремний на сапфире

Особенность таких структур состоит в том, что эпитаксиальный слой кремния наносится на подложку из монокристаллического сапфира, который является изолятором. Структуры Кремний на сапфире находят применение в производстве электронных компонентов для ответственных применений. В частности на их основе производятся радиационно-стойкие интегральные схемы, применяемые в электронных системах космической техники, атомных электростанций, а также в устройствах связи и оптоэлектронике. Диаметр структур от 76 до 150 мм.